常见问题
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青岛藤和净化工程温度湿度如何控制才好?
发布时间:2022-07-21 10:40:01
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控制净化工程温湿度的具体措施有哪些?

青岛净化工程洁净室的温湿度主要根据您的加工工艺要求确定。在满足加工工艺的条件下,应考虑人的舒适性。随着空气清洁度要求的提高,工艺对温湿度的要求越来越高,以达到固定的温湿度。例如,在大规模集成电路生产的光刻曝光过程中,玻璃和硅片的热膨胀系数要求越来越小。直径100um硅片,温度上升1度,导致0.24um所以有线性膨胀±0.恒温1度,湿度值低,因为人出汗后会污染产品,尤其是怕钠的半导体车间,不应超过25度。

湿度过高会导致更多的问题。当相对湿度超过55%时,冷却水管壁会结露。如果发生在精密装置或电路中,会造成各种事故。当相对湿度为50%时,很容易生锈。青岛净化工程控制温湿度的具体措施是什么?

青岛净化工程

然而,对于大多数清洁空间,为了防止外部污染,内部压力(静压)高于外部压力(静压)。压差的维护应符合以下原则:

1.洁净度高的空间压力高于相邻洁净度低的空间压力。

2.相通洁净室之间的门应开向洁净度较高的房间。

3.青岛净化工程的压力高于非洁净空间。

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压差的维持取决于新风量,可以补偿压差下间隙泄漏的风量。因此,压差的物理意义是通过洁净室各种间隙泄漏(或渗透)风量的阻力。

对于乱流洁净室,主要依靠空气稀释来减少室内污染,主要采用通风次数的概念,而不是直接采用速度的概念,但对室内气流速度也有以下要求;

1.出风口的气流速度不宜过大。与简单的空调房间相比,速度衰减更快,扩散角度更大。

2.吹过水平面的气流速度(如侧送时的回流速度)不宜过大,以免吹起表面颗粒重返气流,造成再污染。这个速度一般不应该.2m/s。


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